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半導體工藝氣體檢測系統，GK6030-BDT型號是一種可移動、可獨立的采樣系統，采用分析柜式結構，結合用戶現場實際工況，采用樣氣抽取分析式流程設計。主要由三部份組成，氫燃料電池檢測模組,進口檢測模組,出口檢測模組，全程高溫伴熱191攝氏度方式。采用西門子PLC控制，組態界面操作，具備自動進樣，連續運行、間歇運行、控制聯鎖諸功能。加上配置了智能化分析儀表，具有自動化程度高，數據處理快速準確。測量精度高，響應時間快，其測量后的氣體濃度信號可在計算機組態界面監控。主要用于半導體工藝用電子特氣的質量評價，半導體工藝廢氣、氫燃料電池燃燒氣、煙氣和發動機尾氣等成分的定性分析和定量研究，也可用于半導體工藝廢氣處理設備分解移除效率的評價和研究。

應用實例

•半導體工藝用電子特氣的質量評價測量

•與安全相關領域的測量

•作為法定煙氣排放量參考變量的測量

•氫燃料電池燃燒氣成分定性分析

•燃燒廠中煙氣排放量的定性分析

•半導體工藝廢氣氣濃度的定量研究